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半导体石英玻璃的形成是由于其熔体在高温下的高粘度所致。用于制造半导体、电光源、半导体通讯器件、激光器、光学仪器、实验室仪器、电气设备、医疗设备和耐高温耐腐蚀的化学仪器、化工、电子、冶金、建筑材料和国防等。广泛应用于化工、电子、冶金、建材、国防等行业。
石英玻璃是由各种纯净的天然石英(如水晶、石英砂等)熔化制成,是一种只含二氧化硅单一成份的特种玻璃。石英玻璃加工由于种类、工艺、原料的不同,国外经常称为硅酸玻璃、石英玻璃、熔融石英、合成熔融石英、熔凝石英,以及没有明确概念的透明、半透明、不透明石英等。我国统称为石英玻璃,多按工艺方法、用途及外观来分类,如连熔石英玻璃、合成石英玻璃、不透明石英玻璃、光学石英玻璃、半导体石英玻璃、电光源用石英玻璃、不透明石英玻璃等。
一、半导体石英玻璃是什么?
半导体石英玻璃是二氧化硅单一成分的非晶态材料,其微观结构是一种由二氧化硅四面结构体结构单元组成的到单纯网络,由于Si-O化学键能很大,结构很紧密,所以石英玻璃具有非常独特的性能。
二、半导体石英玻璃是如何形成的?
半导体石英玻璃的形成是由于其熔体高温黏度很高引起的结果。用于制作半导体、电光源器、半导通信装置、激光器、光学仪器,实验室仪器、电学设备、医疗设备和耐高温耐腐蚀的化学仪器、化工、电子、冶金、建材以及国防等工业,应用非常广泛。
三、半导体石英玻璃的特性:
半导体石英玻璃在光学上有着很特别的特点,石英玻璃能透过很多种不一样波长的光谱,从紫外光谱的可见光谱再到红外光谱,其间紫外光谱的透过度算是很好的。石英玻璃对不一样波长的光谱折射率也是不一样的。
1、热学性能
半导体石英玻璃的热膨胀系数小。
2、透气性
在常温下,石英玻璃可以说是不透气的,在高温(例如700℃)下,一些气体的透气常数也非常的小。
3、电性能
半导体石英玻璃是优良的高温介电绝缘材料。
4、光学性能
半导体石英玻璃的光学性能有其独到之处,它不仅能透过远紫外光谱,是所有透紫外材料的很优者,还能透过可见光和近红外光谱。
四、石英材料在半导体领域的应用
石英用于半导体制造过程中纯度高的许多不同领域。前端半导体工艺通常是石英产品的大客户,其中常见的“晶片”由硅制成,经过一系列工艺步骤,最终形成数百万个称为微芯片的电路。许多这些工艺步骤需要在晶片表面上的高温下精确控制气体反应。石英部件通常用于确保保持高纯度,同时能够承受高温下的高压/真空,同时不会与晶圆本身发生反应或引入会导致后续电路故障的颗粒。
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