石英玻璃加工|微晶玻璃|光学镜片定制-变色龙精密玻璃有限公司
变色龙科技（惠州）有限公司
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半导体行业有3种精密材料，分别是陶瓷、硅片、石英。半导体领域讲究清洁生产，需要严格规避碱金属污染。石英是一种高纯的二氧化硅，主要用在半导体制程里的高温扩散，低温蚀刻环节，表现额为石英载具，石英舟，石英夹具等。
石英材料特性表
1. 材料杂质含量分析 (SiO₂ 含量：≥ 99.995%)
|
Fe |
Mg |
Mn |
K |
Li |
Co |
Ni |
Cu |
Na |
B |
Ti |
Ca |
Al |
|
1.2 |
0.4 |
0.1 |
2.0 |
0.5 |
< 0.02 |
0.03 |
0.57 |
2.3 |
0.8 |
0.1 |
0.8 |
16 |
2. 光学试验：折射率与色散值 (na = 1.45845)
|
类别 |
20°C |
UV |
IR |
可见光 |
|
Na值 |
1.4586 ± 4 x 10-4 |
1.5341 - 1.4942 |
1.4251 - 1.47451 |
1.4698 - 1.45413 |
|
平均色散及色散系数 / Nf-Nc=0.00674 ±3 x 10-5 / 色散系数 Y= 68.0 |
||||
3. 热试验
|
热膨胀系数 |
温度 °C |
100 |
300 |
500 |
700 |
900 |
1100 |
||
|
热膨胀系数 x 10-7 |
5.11 |
5.92 |
5.65 |
5.73 |
5.52 |
5.48 |
|||
|
热传导 W/m°C |
温度 °C |
20 |
100 |
200 |
300 |
400 |
950 |
||
|
热传导系数 |
1.38 |
1.47 |
1.55 |
1.67 |
1.84 |
2.68 |
|||
|
热能率 J/Kg°C |
温度 °C |
20 |
100 |
500 |
900 |
||||
|
热能率 |
690 |
772 |
964 |
1052 |
|||||
4. 电学试验
|
电学性能 |
介电常数 (e) |
20°C |
23°C |
28°C |
|
|
3.7 |
3.77 |
3.81 |
|||
|
(Tgδ) |
1 千赫 |
1-1000 兆赫 |
3 x 10-4兆赫 |
||
|
0.0005 |
0.0001 |
0.0004 |
|||
|
电阻率系数 |
20°C |
400°C |
800°C |
1200°C |
|
|
1016 |
1010 |
6.3 x 106 |
1.3 x 105 |
||
5. 材料与氧化物反应关係
|
AIO₃ |
MgO |
CaO |
ZnO |
Fe-Oxide |
CuO |
BaO |
Basic-Oxide |
PbO |
|
> 1200°C |
> 950°C |
> 1000°C |
> 800°C |
> 950°C |
> 950°C |
> 900°C |
> 800°C |
融熔状态 |
6. 机械性能
|
密度 |
2.21 g/cm3 |
耐压强度 |
6000N/mm2 |
抗拉强度 |
50 N/mm2 |
扭矩力 |
30 N/mm2 |
|
莫氏硬度 |
5.5 - 6.5 N/mm2 |
扭力系数 |
3.1 x 104 N/mm2 |
弯曲承受 |
67 N/mm2 |
声速 |
5720m x s |
原标题：石英玻璃材料特性
